1

北京量子信息科学研究院

超高真空电子束蒸发薄膜沉积系统

通过电子束热蒸发效应进行高纯度金属薄膜制备

410

2022年9月

2

北京量子信息科学研究院

电子束蒸发镀膜机

用于半导体量子芯片制备，基于纳米级电极互搭从而实现小范围精确调控实验。

290

2022年9月

3

北京量子信息科学研究院

磁控溅射镀膜仪

用于制备各类高质量的超导薄膜、超导合金薄膜、各类高质量金属薄膜

240

2022年9月

4

北京量子信息科学研究院

反应离子束刻蚀机

用于半导体器件刻蚀

150

2022年9月

5

北京量子信息科学研究院

激光直写光刻机

用于亚微米尺度图形化及掩膜版制备

440

2022年9月

6

北京量子信息科学研究院

低噪音放大器、智能电源单元

用于量子比特读取时信号的前级放大

295

2022年9月