1

北京量子信息科学研究院

全指令化集成微波测控系统

用来对器件进行微波调控

1700

2023年8月

2

北京量子信息科学研究院

低温低噪声放大器

用于低温下对读取信号进行低噪声放大

300

2023年8月

3

北京量子信息科学研究院

化学研磨抛光机

用于晶圆减薄

300

2023年8月

4

北京量子信息科学研究院

小器件激光直写系统

用于满足制备在2mm以内基材小尺寸器件工艺研发

100

2023年9月

5

北京量子信息科学研究院

光谱椭偏仪

用于测量材料折射率

120

2023年9月

6

北京量子信息科学研究院

反应离子束刻蚀机

用于刻蚀厚度十微米以内的材料

120

2023年9月

7

北京量子信息科学研究院

图形发生器

用于电子束曝光

120

2023年9月

8

北京量子信息科学研究院

引线键合机

用于金丝或铝丝引线、单光子源、激光器金引线，2台

160

2023年9月

9

北京量子信息科学研究院

芯片解理机

用于器件尺寸精确解理

180

2023年9月

10

北京量子信息科学研究院

光学表面3D轮廓仪

用于高精度、无损伤、三位表面表征设备

300

2023年9月

11

北京量子信息科学研究院

化学机械抛光

用于晶圆减薄

300

2023年9月

12

北京量子信息科学研究院

磁控溅射系统

用于生长高质量铌超导材料

320

2023年9月

13

北京量子信息科学研究院

晶圆键合机

用于实现晶圆片之间的键合

500

2023年9月

14

北京量子信息科学研究院

感应耦合等离子体刻蚀系统

用于刻蚀铌酸锂

550

2023年9月

15

北京量子信息科学研究院

双角度多腔室蒸发系统

用于制备Qubit约瑟夫森结

600

2023年9月

16

北京量子信息科学研究院

反应离子束刻蚀机

用于刻蚀厚度十微米以内的材料

600

2023年9月

17

北京量子信息科学研究院

基于超导干涉仪的磁学测量系统

用于对单晶、薄膜、粉末样品进行磁性性质的精确测量

600

2023年9月

18

北京量子信息科学研究院

强磁场变温扫描探针显微镜

用于二维材料磁性探测

1000

2023年9月

19

北京量子信息科学研究院

芯片倒焊设备

用于芯片高精度倒焊

1100

2023年9月

20

北京量子信息科学研究院

透射电镜

用于超高分辨率显微表征

1300

2023年9月

21

北京量子信息科学研究院

氦氖聚焦离子束系统

用于亚纳米级到微米的精确加工和高分辨成像

1300

2023年9月

22

北京量子信息科学研究院

电子束曝光机

用于在材料表面曝光形成纳米级结构

1200

2023年9月

23

北京量子信息科学研究院

深硅刻蚀机

用于半导体器件和材料价格

1500

2023年8月