2022年2月24日下午，量子院第九期“工程师技术沙龙”活动在量子院526报告厅如期举办。本期沙龙由4名工程师呈现了精彩的技术报告，分别围绕硅锗量子结构外延技术、³He杆制冷原理、透射电镜制样、FPGA中的高速时钟等主题方向展开讨论和经验分享。本期沙龙活动吸引了院内外科研人员、博士后、工程师等60多人到场交流。

本期沙龙量子院4位工程师作的精彩报告分别是：

• 鲁军的报告《高品质硅锗量子结构外延技术》；

• 黄妙玲的报告《³He杆制冷原理和使用》；

• 仝冰冰的报告《透射电子显微镜样品的制备》；

• 张威的报告《FPGA中的高速时钟简介及应用》；

本期沙龙的技术报告主题较为多样。第一个技术报告详细介绍了高品质硅锗量子结构外延技术，对比了MBE、RPCVD、UHV-CVD三种制备技术，通过自主搭建的实验系统进行实验，结果显示UHV-CVD是目前最高电子以及空穴迁移率的保持者，也是制备具有陡峭界面量子阱结构的不二选择，有利于VS调控。第二个报告详细介绍了³He杆的结构和制冷原理，分享了多次测试结果后的降温控制经验。第三个技术报告分享了使用FIB电镜系统制备透射电镜样品的两种方法和经验，举例讲述了垂直和平行纳米线的TEM样品，以及减薄厚度和精确定位的方法。第四个报告介绍了FPGA中的高速时钟及其在量子直接通信系统中的应用。

每期技术沙龙设置评分环节，由科研人员和工程师代表组成评分小组。评分小组按照沙龙评分规则，最终评选出了本期优秀技术报告——仝冰冰的报告《透射电子显微镜样品的制备》。

本期优秀技术报告系统介绍了使用FIB电镜系统制备透射电镜样品的方法，从保护层沉积、原位抬升到FIB减薄再到厚度测量等步骤，举例讲述了垂直和平行纳米线的TEM样品制备以及减薄厚度和精确定位的方法，同时还详细讲述了FIB电镜系统的结构。该报告内容清晰，实验示例展示说明客观真实，可操作性强，具有很好的借鉴价值，报告受到评分委员的一致好评。

（量子工程研究部 供稿）