2024年8月22日下午，量子院第二十九期“工程师技术沙龙”活动在量子院526报告厅如期举办。本期沙龙由6名工程师呈现了精彩的技术报告，分别在量子点环形布拉格波导腔悬浮样品制备、随机编译在量子误差抑制中的应用、电磁辐射分析与测量、钛酸锶衬底的处理与薄膜生长、CMP在制备超导量子芯片中的应用、球栅阵列封装在超导量子计算芯片上的应用等主题方向展开讨论和经验分享。本期沙龙活动吸引了院内外众多科研人员、博士后、工程师到场交流。

本期沙龙量子院6位工程师作的精彩报告分别是：

刘丽的技术报告《一种 In(Ga)As 量子点环形布拉格波导腔悬浮样品及其制备工艺》介绍了一种 In(Ga)As 量子点环形布拉格波导腔悬浮样品及其制备工艺。分享了量子点的产生过程及调控手段，利用微腔的光场局域效应可极大的增强光与物质的相互作用，对量子点自发辐射的速率、场分布和光子提取效率进行调控。工程师利用干法ICP刻蚀+HF湿法腐蚀等工艺手段，制备出悬浮的GaAs QD样品，并通过测试证明其具有较好光学性能。体现了工程师突出的工艺设计能力和器件加工能力，为制备微腔悬浮样品和单光子源器件做出显著贡献。

于也飞的技术报告《随机编译在量子误差抑制中的应用介绍》介绍了随机编译是一种噪声定制和误差抑制技术，将相干噪声转化成随机Pauli噪声具有抑制非对角项、错误率低、容错阈值高等优点。分享了随机编译的步骤、理论、评估方法、国内外目前的研究进展，以及直接使用或与其他量子误差缓解方法结合的应用实例。并展示了团队在超导量子芯片上对6比特线路进行随机编译，实验结果更稳定可预测，但与理想结果仍有差距。体现了工程师不畏困难、稳扎稳打的精神和毅力，为超导量子芯片的稳定运行提供重要保障。

张建刚的技术报告《微纳加工设备的电磁辐射分析与测量》介绍了常见的电磁辐射场景及其对人体的影响，分析了目前微纳加工测试平台的电子束蒸发设备、SEM设备内外部的电磁辐射计量，并通过委托国家卫生健康委职业安全卫生研究中心进行检测，得到无X射线或远低安全限度计量的结果。展现了微纳加工测试平台在提供优质加工测试服务的同时注重用户安全、保障用户职业健康，为量子信息科技从业人员提供高水平的安全、可靠的人性化服务。

汪琴的技术报告《钛酸锶衬底的处理与薄膜生长》介绍了使用的超高真空分子束外延设备，分析了努森热、低温等不同蒸发源的特点。采用介电常数高和击穿电场强度大的钛酸锶(SrTiO₃)作为衬底，可外延生长出高质量的拓扑绝缘体单晶薄膜，STO作为底栅可以实现对其化学势和量子输运性质的大范围调控，并大大抑制了体电导。工程师在不同条件下处理的STO(111)形貌，得到930℃正面朝下处理最利于薄膜生长的实验结论；通过不同工艺处理STO(001)，得到大面积平整平台。体现了工程师专业的材料制备能力和不断进取的开拓精神。

冯雅晴的技术报告《CMP在制备超导量子芯片中的应用》介绍了化学机械抛光(CMP)工艺的技术原理、影响因素、难点与挑战，以及其在超导硅通孔制备、JJ结阵列制备中的应用。分享了CMP工艺在晶圆减薄、晶圆表面抛光、芯片平坦化方面的宝贵经验和教训。展现了工程师在超导量子芯片制备过程中扎实的专业基础和出色的工艺操作能力，为超导量子计算的发展添砖加瓦。

米振宇的技术报告《球栅阵列封装在超导量子计算芯片上的应用》介绍了目前超导量子芯片封装方式存在增加I/O端口数目会在超声波引线键合中带来诸多问题，包括封装时间长，封装晶圆面积大、良品率下降、测控波形失真等。采用球栅阵列封装技术，封装时间与I/O端口数目无关，大幅提升I/O端口密度，有限减少阻抗失配。展示了工程师将激光植球工艺探索应用在超导量子计算芯片制备中的较好结果。工程师不断挑战技术瓶颈，攻坚克难，利用丰富的理论知识和扎实的实践能力为超导量子计算芯片制备做出重要贡献。

技术沙龙设置评分环节，由科研人员和工程师代表组成评分小组。评分小组按照沙龙评分规则，最终评选出本期优秀技术报告是米振宇的《球栅阵列封装在超导量子计算芯片上的应用》。

本期优秀技术报告逻辑清晰、内容完整，介绍球栅阵列封装在超导量子计算芯片应用上的宝贵经验，体现了工程师扎实的专业能力和出色的工艺加工水平。报告有理有据，受到评分委员的一致好评。