平台定位于为量子院乃至全国量子信息技术研究提供顶尖的技术支撑条件,凝练出一支具有世界级水准的工程师队伍。
微纳加工平台
李铁夫
张建刚
全自动溅射仪
接触式轮廓仪
数码显微镜
体视显微镜
金相显微镜
快速退火炉
精密划片机
酸碱/有机操作台、超纯水系统
金带键合机
热板
匀胶机
超纯水机