名称：热板I

品牌：SAWATEC

型号：HP-200BT

产地：瑞士

参数：

•      温度范围：≤250 ℃；

•      温控精度：±0.6 ℃ @ 100 ℃；

•      最大晶圆尺寸：直径200 mm，厚度18 mm；

•      自动接近及加载顶针（行程8 mm）；

•      程序控制可调接近顶针（0.1 mm增量）。

名称：热板II

品牌：SUSS MicroTec

型号：HP8 TT

产地：德国

参数：

•      温度范围：60-250 ℃；

•      温控精度：±0.5 ℃ @ 120 ℃，±1% @ ≥120 ℃；

•      升温速率：0-10 ℃/min；

•      最大晶圆尺寸：8 inch。