名称：快速退火炉I

品牌：Jipelec

型号：JetFirst 100C

产地：法国

参数：

•      最大晶圆尺寸：4 inch，可扩展至8 inch；

•      最高加热温度：1200 ℃；

•      最大升温速率：100 ℃/s（4英寸Si片）；

•      温度均匀性：± 8 ℃（ 4英寸Si片@800 ℃ ）；

•      温度重复性：± 2 ℃（ 4英寸Si片@800 ℃ ）。

名称：快速退火炉II

品牌：Jipelec

型号：JetFirst 100HT

产地：法国

参数：

•      最大晶圆尺寸：4 inch，可扩展至8 inch；

•      最高加热温度：1400 ℃；

•      最大升温速率：100 ℃/s（4英寸Si片）；

•      温度均匀性：± 8 ℃（ 4英寸Si片@800 ℃ ）；

•      温度重复性：± 2 ℃（ 4英寸Si片@800 ℃ ）。