名称：接触式轮廓仪

品牌：KLA

型号：AlphaStep D600

产地：中国香港

参数：

•      台阶高度：几纳米至1200 μm；

•      低触力：0.03至15 mg；

•      样品台：直径200 mm，XY运动范围150 mm×178 mm，单次扫描长度达55 mm；

•      视频：500万像素高分辨率彩色摄像头。