名称：等离子体增强化学气相沉积系统

品牌：Samco

型号：PD-220NL

产地：日本

参数：

•      气体：5%SiH₄+95%Ar、N₂O、NH₃、CF₄、O₂、N₂；

•      射频电源：13.56 MHz，最大功率300 W，晶体振荡，自动匹配；

•      上电极：最大加热温度200 ℃；

•      下电极：直径260 mm，最大加热温度400 ℃；

•      最大晶圆尺寸：8 inch；

•      沉积材料：SiO₂、Si₃N₄、非晶Si等。