名称：原子层沉积系统

品牌：Picosun

型号：R-200 STANDARD

产地：芬兰

参数：

•      前驱体源：4路独立源管线，最多可配6个前驱体源，现包括液体源C₃H₉Al、TiCl₄、H₂O和气体源NH₃；

•      载气/吹扫气体：N₂；

•      热壁反应腔置于冷壁真空腔中；

•      冷壁真空腔：真空度可低至1×10^-4 mbar；

•      热壁反应腔：最高沉积温度达500 ℃，精度±1 ℃；

•      最大晶圆尺寸：8 inch；

•      沉积材料：Al₂O₃、TiN等。