名称：等离子体去胶机

品牌：Samco

型号：PC-1100

产地：日本

参数：

•      反应气体：SF₆、O₂、 Ar；

•      射频电源：13.56 MHz，最大功率600 W，晶体振荡，自动匹配；

•      下电极：方形，405 mm × 410 mm；

•      最大晶圆尺寸：12 inch；

•      刻蚀材料：各类光刻胶。