名称：深硅刻蚀机

品牌：SPTS

型号：Omega LPX Rapier

产地：英国

参数：

•      气体：SF₆、C4F₈、O₂、N₂、Ar；

•      工艺模块：Bosch深硅工艺；

•      最大射频功率：Primary RF为3600 W，Secondary RF为2000 W，Platen RF为1500 W；

•      下电极：背氦传热，水冷控温范围在-20 ℃至40 ℃；

•      最大晶圆尺寸：6英寸；

•      刻蚀材料：Si。