名称：反应离子刻蚀机

品牌：Samco

型号：RIE-10NR

产地：日本

参数：

•      气体：SF₆、CF₄、CHF₃、O₂、 Ar；

•      射频电源：13.56 MHz，最大功率300 W，晶体振荡，自动匹配；

•      下电极：直径240 mm，水冷控温（20 ℃到25 ℃）；

•      最大晶圆尺寸：8 inch；

•      刻蚀材料：SiO₂、SiN、α-Si等。