名称：扫描电子显微镜（配EBL附件）

品牌：Zeiss

型号：Sigma 300

产地：英国

参数：

•      分辨率：1.0 nm @ 15 kV，1.6 nm @ 1 kV；
  

•      加速电压：0.02-30 kV；

•      放大倍率：10-1000000×；

•      电子束流：4 pA-20 nA；

•      探测器：In-lens、ETSE、HD BSD；

•      工作距离：0.1-50 mm；

•      样品台类型：5轴电动；

•      样品台X轴行程：125 mm；

•      样品台Y轴行程：125 mm；

•      样品台Z轴行程：50 mm；

•      样品台T轴倾斜度：-10° - +90°；

•      样品台R轴旋转角度：360°连续。

Raith ELPHY Quantum EBL附件

•      扫描频率：6 MHz；

•      电子束驻留时间：167 ns~429 s；

•      电子束驻留时间最小增量：83 ns；

•      写场范围：0.5 μm × 0.5 μm – 2 mm × 2 mm；

•      最小步距增量：0.1 nm；

•      曝光精度：≤100 nm；

•      套刻精度：≤100 nm。