名称：激光直写光刻机

品牌：HEIDELBERG

型号：DWL66+

产地：德国

参数：

•      最大加工晶圆尺寸：直径230 mm；

•      最大加工区域：200 mm直径的圆型区域；

•      激光波长：405 nm；

•      激光能量：300 mW；

•      曝光精度：0.6 μm；

•      曝光速度：13 mm²/min；

•      套刻精度：100 nm；

•      灰度曝光阶数: 128级。