2026年4月23日下午，量子院第四十五期“工程师技术沙龙”活动在量子院526报告厅如期举办。本期沙龙由7名工程师呈现了精彩的技术报告，分别在真空检漏、低压气相沉积系统的维护、制冷机、Ge/SiGe二维空穴气中的非线性霍尔效应、解键合技术、利用真空退火改善超导量子比特的性能、基于金刚石NV色心的体外诊断样机设计、量子计算云平台的校准与维护等主题方向展开讨论和经验分享。本期沙龙活动吸引了院内外众多科研人员、博士后、工程师到场交流。

本期沙龙量子院7位工程师作的精彩报告分别是：    

郭晓龙的技术报告《真空检漏简介》介绍了真空检漏的意义、技术、方法和注意事项。半导体制造对真空度要求极高，微小泄漏会直接影响工艺良率与设备稳定，必须严格检漏。在设备安装验收、定期维护、真空异常及维修更换后均需检测，常见漏点在焊缝、法兰、阀门、密封处等。采用氦质谱检漏，以氦气为示踪气体，灵敏度高、定位准。详细介绍了真空喷吹、吸枪正压、真空箱总漏率检测三种方法，分享了操作流程和注意事项，如做好本底测试、规范喷氦与检漏顺序等宝贵经验。工程师严谨细致、专业扎实、责任心强、注重细节，能有效保障设备稳定与工艺良率，具备优秀的制程保障能力。

王宇清的技术报告《低压气相沉积系统的“大保养”》介绍了低压气相沉积系统的定期维护的原因、流程和测试。低压气相沉积系统制备的高应力氮化硅薄膜在量子固态存储、信号频率转换等方面有着重要的应用价值，但其运行中会产生硅酸盐副产物污染晶圆。工程师分享了日常维护和保养的详细流程，通过三次薄膜生长实验完成维护后的稳定性测试，验证设备可恢复正常工艺状态。工程师操作规范、动手能力强、严谨负责，精通设备维护与工艺验证，能有效保障薄膜制备稳定与品质可靠。

杨真的技术报告《制冷机简介和问题分析》分享了³He/⁴He稀释制冷机在超导量子计算中的作用以及应用。制冷机是将量子比特降至mK级极低温、抑制退相干的核心设备，基于氦相分离与稀释吸热实现连续制冷。介绍了湿式、干式两种制冷机和运行线路，详细说明了冷阱、流阻、循环管路等关键部件作用。分享了设备常见故障，包括冷阱堵塞、流阻控制不稳、冷凝后温度不降、接地环路引入噪声等问题的成因、现象与处理方法；最后总结运行维护要点，强调需重点监测温度、压差、流量、泵功率，做好冷阱维护、耐心建立热平衡、规范接线，同时指出随着量子比特规模扩大，对制冷机性能与系统稳定性的要求将持续提升。工程师具备扎实的极低温设备理论功底，操作严谨、善于故障诊断与数据监测，重视规范运维与系统稳定性，专业能力强、耐心细致、问题处理精准。

李建坤的技术报告《Ge/SiGe二维空穴气中的非线性霍尔效应》围绕Ge/SiGe 二维空穴气体系中的非线性霍尔效应展开研究。先介绍非线性霍尔效应的测量方法、产生条件与量子几何（贝里曲率偶极、量子度量偶极）物理起源，梳理该效应在多种二维体系中的研究进展。再针对Ge/SiGe异质结结构开展实验测试，通过低温、磁场下的电学测量验证其二阶非线性霍尔信号，系统排除肖特基结整流、焦耳热热电效应等干扰因素。最后明确后续测量计划，为该体系在拓扑量子输运领域的研究提供实验依据。工程师理论功底深厚、实验设计严谨，擅长精密量子输运测试与数据拟合分析，能精准排除实验干扰、逻辑清晰推进科研，具备优秀的前沿物理研究与实验攻关能力。

孙伟杰的技术报告《解键合技术简介》介绍了半导体与超导量子芯片制造中的解键合技术，是与临时键合配套的核心工艺。通过热、机械、激光、化学四种方式实现超薄晶圆与支撑载片的无损分离。讲解了各类技术的原理、特点、适用场景与成本对比，并介绍了相关材料与设备厂商，重点阐述该技术在超导量子芯片三维堆叠、TSV工艺、降低串扰、提升集成度方面的关键应用。工程师熟悉先进封装工艺，对材料与设备特性掌握扎实，工艺理解深入、严谨务实，具备从原理到应用的系统分析能力，能精准匹配技术方案与量子芯片制造需求。

岳城亮的技术报告《基于金刚石NV色心的体外诊断样机设计》介绍了基于金刚石NV色心的体外诊断样机设计。将金刚石 NV 色心量子传感技术应用于体外诊断，相比传统荧光染料，可大幅提升检测灵敏度和特异性，有效解决光漂白、环境干扰、背景噪声大等行业痛点。工程师完成集成化诊断样机的工程开发，推动超高灵敏快速检测从实验室走向临床实用化。工程师兼具生物医学检测与量子精密测量知识，理论基础扎实、工程实现能力强，擅长光电系统集成、模块调试与整机方案设计，科研务实、创新意识突出，具备从原理到样机的完整研发能力。

于也飞的技术报告《量子计算云平台的校准与维护》介绍了量子计算云平台的校准与维护。结合国内外量子计算云平台现状，以Quafu超导量子云平台为例，详细介绍初始表征、时序失真校准、量子门精细校准的完整流程。分析校准中遇到的读取串扰、耦合器能谱异常等问题及解决方法。阐述平台自动校准、智能推荐比特、持续监控告警等维护手段，并介绍Quafu平台的使用方法。工程师精通超导量子硬件原理与校准技术，严谨细致，擅长自动化运维与平台优化，专业扎实，能保障量子计算云平台稳定高效运行。

技术沙龙设置评分环节，由科研人员和工程师代表组成评分小组。评分小组按照沙龙评分规则，最终评选出本期优秀技术报告是岳城亮的《基于金刚石NV色心的体外诊断样机设计》。

本期优秀技术报告内容丰富，逻辑严谨，结构清晰，把量子精密测量技术真正落地到临床体外诊断，用全新方案解决传统荧光检测的长期痛点，推动超高灵敏、快检、低成本的 POCT 诊断从实验室走向实用化。获得评委们的一致认可与高度评价。