研究团队
微纳加工平台
微纳加工平台
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关于
微纳加工平台由量子院兼聘研究员、清华大学副研究员李铁夫牵头,量子院高级工程师张建刚任主管,目前共计6人,均为量子院全职人员。平台定位于为量子院乃至全国量子信息技术研究提供顶尖的技术支撑条件,凝练出一支具有世界级水准的工程师队伍,拓展微纳尺度芯片和器件加工的技术能力,协助量子计算与量子通信等领域科研人员完成最前沿的研究,为国内量子领域科技自主创新打下坚实的技术基础。
平台负责人:张建刚
曝光设备
刻蚀设备
沉积设备
测量表征设备
其他设备
激光直写光刻机

接触式曝光机

扫描电子显微镜(配EBL附件)

反应离子刻蚀机

感应耦合等离子体刻蚀机

深硅刻蚀机

聚焦离子束系统

等离子体去胶机

电子束蒸发系统

原子层沉积系统

等离子体增强化学气相沉积系统

超高分辨镀膜仪

全自动溅射仪

接触式轮廓仪

数码显微镜

体视显微镜

金相显微镜

快速退火炉

精密划片机

酸碱操作台、有机操作台、超纯水系统

金带键合机

热板

匀胶机

超纯水机

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