2022年7月28日下午，量子院第十一期“工程师技术沙龙”活动在量子院526报告厅如期举办。本期沙龙由5名工程师呈现了精彩的技术报告，分别围绕BOSCH工艺及应用、量子反常霍尔效应的衬底预处理工艺、稀释制冷插杆调试方法、硅衬底铌薄膜处理工艺、固体激光器设计等主题方向展开讨论和经验分享。本期沙龙活动吸引了院内科研人员、博士后、工程师等到场交流。

本期沙龙量子院5位工程师作的精彩报告分别是：

王文彦的报告《BOSCH工艺及其在深硅刻蚀中的应用》，详细介绍了BOSCH工艺的概念和特点，分析了BOSCH工艺在深硅刻蚀应用中面临的问题，由微纳加工平台提出并验证了有效的解决方案。

高宗伟的报告《用于量子反常霍尔效应的衬底预处理工艺》，分享了衬底预处理工艺用于量子反常霍尔效应的原因和目的，介绍了通过采用湿法腐蚀+高温退火的方式对衬底规格、腐蚀工艺、退火工艺、污染问题等进行工艺优化。

崔健的报告《稀释制冷插杆简介及调试》，阐述了稀释制冷原理，对插杆结构和适用系统（平台）进行介绍，分享了综合测试平台在插杆调试方面的宝贵经验。

王宇清的报告《反应离子刻蚀机处理硅衬底铌薄膜工艺摸索》，介绍了为解决过度刻蚀问题的探索工艺，分享了反应离子刻蚀机处理硅衬底铌薄膜工艺的主要影响因素和下一步优化方式。

陈兆宇的报告《调Q固体激光器设计》，介绍了固体激光器的基本原理及分类，描述了调Q固体激光器的设计方法，介绍了团队设计激光器在量子物态研究应用方面的可能性，为促进学科融合部门合作提供可能。

每期技术沙龙设置评分环节，由科研人员和工程师代表组成评分小组。评分小组按照沙龙评分规则，最终评选出了本期优秀技术报告——王文彦所作的《BOSCH工艺及其在深硅刻蚀中的应用》。该报告内容针对性强，清晰全面，详细介绍了BOSCH工艺及其在深硅刻蚀中的应用，展示了对BOSCH工艺的优化方案和结果；还介绍了微纳加工平台团队在长期探索工艺优化过程中，不断总结经验，锻造过硬本领，提高了应对各种困难的能力水平。该报告逻辑清晰，展示的优化方案客观真实，报告受到评分委员的一致好评。

（工程研究部 供稿）